93读书

第5章（第1页）

王仁平不愧是曾经光学院的尖子生，也曾经参与过一些光刻机方面的研发。

和陈佳佳这个非专业人士完全不一样。

在看到这台光刻机的刹那，他并没有被内心的激动冲昏头，靠近这台精密的仪器。

反而是一步来到铁桌的身前，查看起之前陈佳佳所说的光刻机图纸。

如果说这份图纸真的是这台精密仪器的制作图纸的话，那以他的水准，光从这份图纸上就能看出这台机器究竟是真是假！

“本次实验型材料型光刻机激光源头技术采用Rayleigh公式和数值孔径公式结合模式进行研发制造。”

“经过实验，已将代表最小线宽的R数值无限压缩，又将代表光源波长的λ数值进行微调，最终将代表光刻机的数值孔径的NA调整为2.0数值……”

“这！难道这真的是2nm级别的光刻机？”

“这不可能！这怎么可能？”

图纸上的公式涉及了许多个领域，作为曾经光学博士的王仁平第一眼就将目光放到了自己擅长的光学领域模块。

可当他读出图纸上的标注以及试验成果的时候，这位经历了几十年大风大浪的光学高材生差点没惊得跳起来！

虽说已经数十年没有参与到光刻机的研究项目中，但他对相关的报道和研究报告可没有少看。

以前国际通用的5nm接触式光刻机，这个数值大约是在0.5-0.8之间。

而目前国际最先进的采用了投影式技术的3nm光刻机，数值也不过是变成了0.6-1.2！

看起来最大值不过0.4的差距。

实际上投影式光刻机无论从辨率、精度、大规模生产以及成本控制等方面已经远远甩开了接触式光刻机。

最保守估计，双方的差距都有10倍有余！